媒体报道 - 励磁电源 - 北京东方晨景科技有限公司
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1、返流  涡轮分子泵具有提供超清洁、无碳氢化合物的真空环境的能力,故常被用户选用。然而,用户也偶尔会发现涡轮分子泵提供不了不含碳氢化合物的真空环境。经调查发现碳氢化合物的来源,50%是操作失误所带来的问题,如涡轮分子泵的前级泵为油封式旋片泵时,没有控制返流的安全阀,不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流,不合要求的安全阀也会引起油污染。  为了在系统中实现无碳氢化合物这一要求,在前级泵不是干式泵的情况下,有必要了解涡轮分子泵的压缩比及如何给泵充气的一些基本知识。  2、压缩比  涡轮分子泵的压缩比是指前级管道(排气口处)的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同,泵对各种气体的压缩比也不同。气体分子量M的平方根与压缩比K 的关系如图6所示,泵对氢的压缩比很小,一般为1000 左右,这样一来如果前级管道中氢的压力为1×10- 7Torr(13.33 μPa),那么进气口处氢的压力则小1000倍,即为1×10- 10 Torr(13.33nPa)。由于氢是超高真空系统中主要的残余气体,所以氢的压缩比是决定涡轮分子泵的极限压力的关键因素。  涡轮分子泵对于大分子量的气体,如对那些碳氢化合物分子的压缩比是相当大的,一般高于1012。这个比值根据不同泵,以及不同分子量而不同,由于前级泵的不同和其它因素,涡轮分子泵的前级管道中的碳氢化合物的分压力在10-4 Tor...
发布时间: 2019 - 05 - 05
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